Cuestiones de física electrónica
¿Cómo se forma una puerta de Si policristalino?.
Comparar los dispositivos nMOS con puerta de Al y con puerta de
polisilicio o de Si. Indicar el tipo de aplicaciones en qué
es aconsejable cada uno de ellos.
Respuesta del ejemplo 65
Una puerta de Si policristalino se forma mediante un proceso
de epitaxia y consiste en depositar una delgada película
de Si sobre el óxido de la puerta. En este caso no se
consigue un monocristal sino que resulta una película
de pequeños cristales conectados entre sí (de
ahí el nombre de Si policristalino)
En el caso de dispositivos nMOS compuerta de Al, la longitud
del canal se determina por enmascaramiento por lo que no se
consigue siempre cumplir las especificaciones deseadas. De todos
modos, este proceso resulta barato en comparación con
otros y puede ser empleado cuando no sean necesarias altas densidades
de integración o grandes velocidades de conmutación.
En el caso de dispositivos nMOS con puerta de Si policristalino,
la longitud del canal no depende de una máscara sino
que este queda alto alineado debajo de la puerta y ello eleva
la calidad del diseño. Esta ventaja permite el uso de
la tecnología del Si policristalino en aplicaciones de
gran sofisticación cómo pueden ser microprocesadores,
microcomputadores y grandes memorias nMOS.